集成電路(IC)是在光刻工藝發(fā)明之后出現(xiàn)的一種技術(shù)。由于光刻工藝的出現(xiàn),實(shí)現(xiàn)電路的微型化成為了可能。用光刻技術(shù)可以將具有一定功能的電路所需的半導(dǎo)體、
電阻、
電容等元件及它們之間的連線全部集成在一個很小的硅晶片上,然后將芯片封裝起來。
集成電路的特點(diǎn)
集成電路具有體積小,重量輕,引出線和焊接點(diǎn)少,壽命長,可靠性高,性能好等優(yōu)點(diǎn),同時成本低,便于大規(guī)模生產(chǎn)。它不僅在工、民用電子設(shè)備如收錄機(jī)、電視機(jī)、計(jì)算機(jī)等方面得到廣泛的應(yīng)用,同時在軍事、通訊、遙控等方面也得到廣泛的應(yīng)用。用集成電路來裝配電子設(shè)備,其裝配密度比晶體管可提高幾十倍至幾千倍,設(shè)備的穩(wěn)定工作時間也可大大提高。
IC制造的流程
IC的制造一般分這么幾個步驟,首先客戶提出對產(chǎn)品功能的需求;然后針對客戶的需求進(jìn)行分析,設(shè)計(jì);再根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙?jiān)诰A刻蝕電路,最后封裝測試。
圖 IC制造流程
IC的制造工藝
1 晶圓處理
一塊沒有經(jīng)過任何處理的晶圓是不能直接用來制造IC的。因?yàn)樯a(chǎn)出來的晶圓厚度較厚,而不能放入裝載芯片的引線框架中。所以要對晶圓進(jìn)行磨片處理。將晶圓的厚度磨到預(yù)定的厚度。磨片處理還能將晶圓背部的氧化層磨去,保證了芯片焊接時良好的焊接性,與散熱性。大尺寸的晶圓因?yàn)楹穸容^厚,必須磨薄之后才能劃片。
圖 磨片設(shè)備
晶圓磨片前要對晶圓的正面貼膜,這么做是為了保護(hù)晶圓正面不被劃傷。然后對晶圓的背部研磨,磨至預(yù)定的厚度時,對晶圓厚度測試,符合要求后進(jìn)行下一道工序。
圖 晶圓處理流程
2晶圓切割
經(jīng)過處理的晶圓必須切割,才能得到一個個獨(dú)立的IC芯片。具體的切割步驟是將晶圓的背面貼上藍(lán)膜,這么做為了防止晶圓在切割時散開。然后將晶圓整體切割成一個個小方塊,最后對晶圓進(jìn)行清洗,洗去切割時附著在晶圓表面的粉塵。
圖 晶圓切割
圖 晶圓的切割流程
3芯片粘接
裝片就是把芯片裝配到管殼底座或框架上去。常用的方法有樹脂粘結(jié),共晶焊接,鉛錫合金焊接等。要求芯片和框架的連接機(jī)械強(qiáng)度高,導(dǎo)熱和導(dǎo)電性能好,裝配定位準(zhǔn)確,能滿足自動鍵合的需要,能承受鍵合或封裝時可能有的高溫,保證器件在各種條件下使用有良好的可靠性。銀膠的存放溫度為-50℃,使用前要先將銀膠回溫,以排除銀膠內(nèi)部存在的氣泡?;販貢r要注意將存放銀膠的容器密封。如果容器打開或密封性不好,空氣中的水汽會在銀膠上凝結(jié),影響銀膠使用。
圖 點(diǎn)膠工藝圖
具體的粘接步驟是:點(diǎn)膠機(jī)在引線框架上點(diǎn)好銀膠,抓片頭漿芯片從圓片上抓到校癥臺上,校正臺將芯片的角度進(jìn)行校正,裝片頭將芯片由校正臺裝到引線框架上,最后將產(chǎn)品放入固化爐固化。
圖 芯片粘接流程
4 引線焊接
為了使芯片能與外界傳送及接收信號,就必須在芯片的接觸電極與框架的引腳之間,一個一個對應(yīng)地用鍵合線連接起來。這個過程叫焊線或鍵合。鍵合材料一般為99%的金線,也可以使用銅線或者鋁線。因?yàn)榻鸬难诱剐耘c導(dǎo)電性非常好
圖 鍵合機(jī)
具體步驟是,穿在陶瓷劈刀內(nèi)的金線頭部被打火桿熔化為金球,然后對準(zhǔn)鍵合區(qū)下壓陶瓷劈刀,金線在壓力與超聲波的作用下與芯片結(jié)合,陶瓷劈刀牽引金線上升,移動到引線框架上進(jìn)行焊接,最后陶瓷劈刀側(cè)向劃開,切斷金線。
圖 引線焊接流程
5塑封
密封是為了保護(hù)器件不受環(huán)境影響而能長期可靠工作。芯片對使用環(huán)境的要求很高,所以芯片不能直接暴露在外進(jìn)行工作,要把芯片用塑封料封裝起來。塑封料的主要成分為:環(huán)氧樹脂及各種添加劑(固化劑,改性劑,脫模劑,染色劑,阻燃劑等);主要功能為:在熔融狀態(tài)下將芯片和引線框架包裹起來,提供物理和電氣保護(hù),防止外界干擾;存放條件:零下5℃保存,常溫下需回溫24小時才能使用。
圖 注塑機(jī)
具體的步驟是,先將塑封料醒料,回溫24小時?;販氐臅r候也要密封包裝,防止水汽進(jìn)入塑封料。如果塑封料中有水分,在注塑的時候塑封料中的水分會蒸發(fā)形成蒸汽,會在器件的塑封體上形成氣泡影響塑封效果。將產(chǎn)品放入注塑模具中。向注塑機(jī)的投料孔里放入塑封料,注塑機(jī)會把熔化的塑封料注入模具的腔體中形成塑封體。
圖 塑封料
6 打標(biāo)
在產(chǎn)品的塑封體上印上標(biāo)示,包括產(chǎn)品型號、廠商名稱等信息。打標(biāo)的方式一般有兩種。一種是油墨印刷。先將字模沾上油墨,再將字模上的油墨印在塑封體上。另一種為激光刻印,用激光束在產(chǎn)品上刻出文字標(biāo)示。兩種方式中油墨印刷成本較低,但印刷效果沒有激光刻印精美。激光刻印的設(shè)備成本較高。
圖 激光刻印機(jī)
7 切筋成型
此時的產(chǎn)品還是連在一起的,通過切筋機(jī)將多余的部分切除掉,使產(chǎn)品分離出來。使引腳彎曲成特定的形狀。切筋要求切口平滑整齊,切口不能有毛刺。如果有毛刺,在電鍍的時候鍍層生長會變得凹凸不平。
圖 切筋機(jī)
8電鍍
在引腳上鍍上金屬,可以防止引腳的氧化、腐蝕。鍍層金屬一般為鎳與錫。金屬鎳比較致密且硬度較高,可以防止引腳氧化與磨損。金屬錫可以提高引腳的可焊性。
圖 電鍍線
9 測試包裝
IC制造工藝總流程